よくあるご質問

据付けスペースはどれくらい必要ですか?

機種にもよりますが、成膜装置の流れ方向(MD方向)に約700~800 mm必要です。その他、メンテナンススペース(故障時、点検時)として作業が可能なスペースをご準備下さい。
装置本体とは別に、制御用の盤の設置スペース(約W700 X H1700 X D700 mm)も必要です。なお、環境に合わせて垂直方向等の据付設計も実績があります。