卓上型オフライン分光干渉式厚み計測装置
光学用フィルムや透明塗工膜に最適
| 型式 | TOF-S |
|---|---|
| 計測方式 | 非接触式/分光干渉式 |
| 計測対象 | 電子・光学用透明平滑フィルム、多層フィルム |
| 計測原理 | 分光干渉式
 |
製品の特徴
- 高い計測繰り返し性を実現（±0.01 μm以下、対象物および計測条件による）
- 温度変化の影響を受けにくい
- 研究・検査用のオフラインタイプ、製造工程中に用いるオンラインタイプ共に製作可能
- 反射型なので、フィルムの片側からの測定が可能
- 透明塗工膜層のみの測定が可能（計測条件による）
製品の仕様
| 測定厚さ | 1～50 μm（薄物用）,10～150 μm（厚物用） |
|---|---|
| 測定長さ | 50～5000 mm |
| 測定ピッチ | 1 mm～ |
| 最小表示値 | 0.001 μm |
| 電源電圧 | AC100 V 50/60 Hz |
| 使用温度範囲 | 5～45℃（測定時温度変化1℃以内） |
| 湿度 | 35～80％（結露無きこと） |
| 測定面積 | φ0.6 mm |
| 測定ギャップ | 約30 mm |